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ASML申请加热器组件，在衬底支撑件的轴向方向上交叠:加热器
国家知识信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“加热器组件、衬底支撑件以及光刻设备”的，公开号CN121219642A，申请日期为2024年5月加热器。摘要显示，用于在整体圆柱形的衬底支撑件上
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国家知识信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“加热器组件、衬底支撑件以及光刻设备”的，公开号CN121219642A，申请日期为2024年5月加热器。摘要显示，用于在整体圆柱形的衬底支撑件上